2020中國國際半導體展(SEMICON CHINA 2020)將在6月27日-29日,在上海浦東新國際博覽中心及上海浦東嘉里大酒店舉辦。作為傳動系統組件大廠的上銀科技當然不會缺席,當然也少不了上銀微型導軌應用方案設備。
在這個專業的半導體相關設備展覽期間,作為上銀的明星產品,EFEM(晶圓移載模塊Equipment Front End Module)當然始終在C位。EFEM為半導體晶圓移載系統,關鍵功能部件全部出自上銀HIWIN,包括:伺服電機、直驅電機、上銀微型導軌、滾珠絲杠、單軸機器人。這個系統,整合了潔凈機器手臂,可實現低微粒塵產生,滿足晶圓封測的高潔凈環境需求。還支持RS-232,Ethernet通訊,簡易化的人機互動接口,可編程,靈活設定運送規則,使用真空吸取尺寸為8、12吋的晶圓。
EFEM系統軟件由上銀自行開發,具有軟件硬件垂直整合的優勢,還可以提供定制化服務,提升客戶競爭力。此外,在本次展會上,還有晶圓機器人(Wafer Robot),包括RWS單臂晶圓機器人,RWD雙臂晶圓機器人,史卡拉機器人(SCARA Robot)等,另外還有單軸直線電機平臺(Single-Axis Linear Motor Stage)等設備,助力此次半導體展覽。
HIWIN憑借強大的研發團隊,在半導體領域深耕多年,并在發展中,積累了豐富的技術經驗和市場基礎。展會現場將展示多種升級方案,并為業者提供更多高附加價值的解決方案。
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